Pulsar-UKP-Anlage


Foerderkennzeichen: 2015 WIN 0008

Ultrakurzpuls-Laser Pulsar RDX1000fbs

Lasermaterialbearbeitungsmaschine mit Strahlformungssystem, drei motorisierten Achsen, Festoptik, Galvoscanner, Topografiemessung, Absaugung und Prozessgassystem. Einsatzzweck ist hautpsächlich die Untersuchung von Laser-Material-Wechselwirkungen und Prozessstrategien.
  • Durchschnittsleistung bis 100 W
  • Pulswiederholrate: Einzelpuls bis 40 MHz
  • Pulsenergie bis 500 µJ
  • Wellenlänge 1.064 nm und 532 nm
  • Pulslänge 900 fs verstellbar bis 15 ps
  • Wassergekühltes Strahlformungssystem Hamamatsu X13139-04: Aufösung 1.280 x 1.024 Pixel, einsetzbar für 1.064 nm bis 100 W mittlere Leistung
  • Achsgenauigkeit: ±5 µm
  • Topografiegenauigkeit: axial: 20 nm, lateral 3 µm
  • Weißlichtinferometer zur Inline-Topografiemessung, Auflösung: axial: 20 nm, lateral 3 µm
  • Mikro-Scanobjektiv, Fokusdurchmesser 3 µm, Scanfeld = 500 µm x 500 µm