Rasterelektronenmikroskop mit EDX
Rasterelektronenmikroskop (REM) JSM-6300 mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) (REM: JEOL, Japan; EDX: NORAN Instruments, USA)
Das Rasterelektronenmikroskop (REM) JSM-6300 ermöglicht die Erstellung von Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronen-Abbildungen von Probenoberflächen oder Querschnitten.
Durch die Röntgenspektroskopie-Erweiterung (EDX) ist außerdem die Anfertigung energiedispersiver Spektren von Flächen, entsprechend der REM-Vergrößerung möglich.
Durch die Röntgenspektroskopie-Erweiterung (EDX) ist außerdem die Anfertigung energiedispersiver Spektren von Flächen, entsprechend der REM-Vergrößerung möglich.
REM
- Vergrößerung: 10-fach bis 300.000-fach
- Arbeitsabstand: 8 bis 48 mm
- Beschleunigungsspannung 0,1 bis 30 kV
- Probenstrom: 10-12 bis 10-5 A
- Probenbewegung in der Kammer: X-Richtung: 50 mm, Y-Richtung: 70 mm, Z-Richtung 40 mm (fein -3 bis +2 mm), Kippung: -5° bis 90° (in Abhängigkeit des Arbeitsabstandes), Rotation: 360°
EDX
- Qualitativer und quantitativer Elementnachweis aller Elemente im Bereich der Ordnungszahlen 5 bis 92 (Bor bis Uran)